三藏中文网

手机浏览器扫描二维码访问

第八百九十三章 朝闻道(第1页)

“光刻机的定位分辨率一般来说,比制程分辨率会高一到两代。”

“我们新科目前采用的芯片制程是0。35微米技术,定位分辨率则能够达到0。25微米水平。”

“按照正常的研发序列,我们接下来五年时间里会陆续开发出0。18和0。13微米级别的定位分辨率技术。”

“受限于我们目前的技术水平,到2004年我们最多可以把定位分辨率推进到90纳米。”

送走了林千军,王中军在实验室的闭门小会里露出了一脸愁容。

大家打完了鸡血,热情却不能直接变成科研成果,而科学技术又从来不以人的意志为转移。

所以在说到具体问题的时候,该掉头发还是要掉头发的。

“情况就是这么个情况,我们现在能够做到0。25微米已经是为了追赶国际先进水平,付出极大压力之后的成果了。”

“可是如果要满足有关单位的需求,我们的纳米光栅必须达到100纳米的分辨率。这已经不是亚微米技术,而是微纳米的范畴了。也就是说,我们需要跨越至少五年时间的技术发展,将定位分辨率提前推到100纳米。”

王中军说到这里不由皱起眉头,手摸着烟盒却没有打开:“都说说吧,有什么思路没有?”

下面实验室里的研究员们面面相觑,跟着一起犯起了难。

“继续采用化学蚀刻法怎么样?如同通过多次曝光的技术……”

“不行的,化学蚀刻法的各向异性太差了。即使是重复曝光蚀刻,也会导致两侧侵蚀,精度必然达不到100纳米的要求。”

纳米光栅的制作技术,其实和制作芯片差不多,一样是通过在硅片上涂抹光刻胶,然后反复曝光、蚀刻,最后形成符合精度要求的光栅。不过目前业界通常采用的化学蚀刻方法,却在微纳米级条件下并不适用了。

化学蚀刻法用通俗的话来说,就是在晶圆上涂布光刻胶,然后通过曝光去除光刻胶,再用腐蚀性材料对暴露出来的硅片进行腐蚀,最后形成集成电路需要的结构。

但这也有一个问题,湿法化学蚀刻用的蚀刻液在蚀刻中,各向异性的不佳会导致在光刻胶覆盖下的晶圆同样也有一部分被侵蚀了。反过来说,就是湿法化学蚀刻的各向同性性能很好,不仅能向下侵蚀,同样也能向左右侵蚀。

这样一来,对精度要求高的情况下,这种技术显然就天然不适用了。

第一个提议被毙了,这无疑让其他人谨慎了许多。原本还想开口的人,脸上也皱起了眉头。

“100纳米的测量能力,美国人有没有?他们是怎么实现的?”

“怎么没有?没有这个能力,哈勃望远镜怎么上天?劳伦斯实验室的光学加工设备有10纳米的精度、1纳米的定位分辨率,早就走到我们的终点线了。”

“1纳米的精度啊,他们是怎么实现的!”下面小声讨论的人,听到自己竞争对手的成绩,甚至都要忍不住要赞叹出来。

劳伦斯利弗莫尔实验室的光学车床,可以说是全世界加工精度最高的设备了。早在八十年代,在开发哈勃望远镜的过程中,美国空军就掌握了100纳米精度、80厘米直径的超精密大型球面的加工能力,为后来的一系列锁眼卫星扫平了最大的障碍。

“怎么实现的?砸钱呗,为了减弱地震波对设备的影响,在整个实验室的地基上配了减震,这种事情咱们连想都不敢想吧?”

“怎么不敢想?”

谁也没想到,一直在前面默不作声的王中军,竟然突然说了一句话。

“不就是钱吗?如果给房子装减震就能提升加工精度,那我们干嘛不这么做?”

“给房子装减震……很费钱的吗?”

王中军这话一说出来,下面人竟然稍微安静了片刻,然后纷纷深吸了一口气。

是啊……新科差钱吗?

下面这些研究员的思维,主要还是没放开。一方面是之前的工作都是按部就班,主要方向就是挖掘现有技术的极限。从湿法蚀刻向干法蚀刻转变,或者再远点就考虑等离子刻蚀,这已经是业界最新动态了。

另一个人难免受社会环境影响,这种付出极大成本去减少很微弱误差的投入产出比,总感觉未免有些败家了。

虽然王中军的实验室每年的科研经费都不缺,可花钱毕竟也是需要想象力的。51

“当然,给房子装减震暂时还不到这一步。”

热门小说推荐
豪门重生之妇贵逼人

豪门重生之妇贵逼人

7年婚姻。相见如宾,浓情甜蜜。到头来,镜花水月。倾尽所有,换来一场蓄谋已久的杀人灭口。那一天。陆漫漫怀着还不足2月的孩子,死于一场车祸。离奇的车祸,却意外获得重生。陆漫漫再次睁眼,回到还未嫁人之时。她凌厉的眼眸一紧,嗜血的微笑,风华绝代。重生一世,她誓要,血债血偿!为此!陆漫漫醒来后做的第一件事就是,拒绝渣男,毅然嫁给了上一世的死对头,这一世本不该去招惹的男人。她说,我送你锦绣前程,你助我斩妖除魔!他邪魅的嘴角微扬,低沉的嗓音道,一诺千金。精彩片段一都说文城陆家千金陆漫漫,琴棋书画,聪慧过人,贤良淑德,温柔大方,知书达理,善解人意,是文城所有男人心目中的贤妻良母男人低沉的声音显得那般的漫不经心,只是不知这般凶恶残酷,心胸狭窄,瑕疵必报,阴谋算计还表里不一的女人,是谁?陆漫漫抬眸看了一下男人,遂问道,姐都被人害得倾家荡产死无全尸了,你还让姐继续装逼?!男人眉头颤动。打个比方,当你想要放屁的时候,你为了维护自己的形象憋住了,最后的结果你知道会怎样?陆漫漫一字一句,屁从嘴里面吐出来,恶心的是自己!男人脸色直接黑透。精彩片段二不是形婚吗?陆漫漫死拽着两条杠的早孕棒。我是一个正常的男人。我怀孕了。我身体各个器官都很健康。莫远修,重点是姐怀孕了!怀孕了!怀孕了!陆漫漫气急攻心。所以?我不打算留下她。男人微抬眸,一脸淡薄,还记得我们交易达成时我说的话吗?一诺千金?陆漫漫扬眉。记得就好。什么意思?陆漫漫莫名其妙。生个千金。男人说的慢条斯理。陆漫漫一口老血差点没有喷出来!她说过要生的吗?!简介小白,内容绝壁正剧!本文是一枚一心只想要辅助丈夫成立丰功伟业的贤妻良母遭遇最爱人背叛后,意外重生重活一世,在报复渣男的过程中重新收获爱情的豪门故事。精彩,不容错过,欢迎跳坑。PS本文架空...

快穿之拯救黑化boss

快穿之拯救黑化boss

黑化校草这个转学生真有趣,好想把她娶回家,嘻嘻。邪魅反派要亲亲抱抱,举高高。清冷师尊一日为师,终身为夫。病娇少年小雨,不嫁我你想嫁谁?林小雨死了,却没有死透,好运被系统选中,只要完成一定量的任务,就可以有重生的机会,于是她走上了穿梭各个世界,扮演各种人生,拯救各种即将黑化boss的道路,...

绝品狂少混花都

绝品狂少混花都

本站已启用了能本书的最新章节需要加入书架后即时阅读。...

掳爱:错惹豪门继承人

掳爱:错惹豪门继承人

整整三天,他强势索取,她默默承受。他滚热的气息洒在她耳际记着你是我的女人!永远都只能是我的玩物!他用最残忍的方法折磨她,也用最甜蜜的方式宠爱她。她以...

诸天之盖世人皇

诸天之盖世人皇

新书已发,书名封神重生纣王,开局十万亿功德,请大家多多支持,不胜感激!重生蛮荒,妖族雄霸大地,以人类为食秉承后羿之名,得造化神器诸天造化塔穿越万千世界,纳诸天造化于一身大宋武侠中,他反掌镇压四方,定鼎河山!风云中,他炼化四大圣兽,觉醒四象之力!遮天中,一力镇压各大禁区,护佑人族!蛮荒世界中,射落九日,带领人族雄霸天地!...

空间之锦绣田园

空间之锦绣田园

本书简介种田宠文商战空间双强腹黑,1 无忧很郁闷,因为在地摊上买了一个假货,被一个天大机缘砸中 穿越就穿越!别人穿越不是公主,就是皇后王妃。她却穿越成小萝莉一枚,家里穷得揭不开锅,还摊上几个极品亲戚,每天为了点鸡毛蒜皮的小事闹得鸡飞狗跳,吃不饱穿不暖,还要受些窝囊气。  幸好家里的人都是好的。温柔的母亲,儒雅的父亲,聪慧的大哥,英勇的二哥,精明的三哥,坚强的四姐,可爱包子小哥,外加小萝莉女主一枚,顺便附赠一枚药田空间。看一家大小分工合作,齐心协力,打造一片盛世田园,创造一个悠然居。  P这是一个乡村姑娘步步蜕变的华丽成长史。  女主身世成谜,坚强勇敢。  男主腹黑美型,绝对强大。  男配个个不简单,女配绝对是炮灰。...